采用乙醛酸代替有害的化學(xué)藥品(如甲醛)作為還原劑的化學(xué)鍍技術(shù)，在工業(yè)純鋁片、工業(yè)純鈦片、以TiN作為擴(kuò)散防護(hù)層的硅片和以TiSiN作為擴(kuò)散防護(hù)層的硅片等難鍍材料實(shí)現(xiàn)了化學(xué)鍍銅。被覆銅鍍層的表面形貌和晶粒...
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發(fā)布日期：2010-06-09 作者：唐 電, 魏?jiǎn)戳?邵艷群,孫荊華,LEE Ye-kun,游少鑫,李敬業(yè)
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