申請?zhí)?專利號(hào): 01128604
本發(fā)明介紹了一種銅-鉬-銅三層復(fù)合板的制造方法,屬于復(fù)合材料的制備技術(shù)領(lǐng)域。該方法生產(chǎn)銅-鉬-銅三層復(fù)合板以普通電解銅做原料,插入石墨模中鉬錠兩側(cè)空隙,再將模體投入使用氫氣等還原性氣體做保護(hù)氣體的加熱爐中加熱,然后經(jīng)保溫、熱軋、熱處理等工序加工即成,不僅大大降低了制造成本且使銅、鉬兩種不同材料之界面結(jié)合強(qiáng)度較傳統(tǒng)軋制壓接法高出一倍左右。
申請日:2001年09月18日
公開日:2003年04月09日
授權(quán)公告日:2004年09月15日
申請人/專利權(quán)人:長沙升華微電子材料有限公司
申請人地址:湖南省長沙市麓山南路299號(hào)
發(fā)明設(shè)計(jì)人:王志法;劉正春;姜國圣
專利代理機(jī)構(gòu):長沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司
代理人:陳立武
專利類型:發(fā)明專利
分類號(hào):B21B1/38;B21B47/00;B32B15/01
主權(quán)利要求:
一種銅-鉬-銅三層復(fù)合板的制造方法,該方法以鉬錠和銅板為基料進(jìn)行加工,其特征在于按下述程序加工: a、將上述鉬錠置于其內(nèi)腔容量與該鉬錠大小匹配的石墨模中,使鉬錠兩側(cè)側(cè)面分別與石墨模內(nèi)壁之間形成兩側(cè)空腔, b、將上述銅板置于a工序中所形成之石墨模內(nèi)的上述鉬錠兩側(cè)空腔,然后將已置入鉬錠和銅板的上述石墨模置入氫氣保護(hù)狀態(tài)下的加熱爐中加熱至1100-1500℃,待銅板熔化為液體銅填滿空腔并自然冷卻后即得銅-鉬-銅三層復(fù)合錠坯, c、將b工序中所得銅-鉬-銅三層復(fù)合錠坯從上述加熱爐中取出,在氫氣保護(hù)下加熱至300-1000℃進(jìn)行軋制減薄加工至設(shè)定厚度的銅-鉬-銅三層復(fù)合錠坯, d、將c工序中所得減薄之銅-鉬-銅三層復(fù)合錠坯進(jìn)行先酸洗后冷軋,再在氫氣保護(hù)狀態(tài)下加熱到300-1000℃進(jìn)行熱處理即得成品銅-鉬-銅三層復(fù)合板。
以上信息僅供參考