申請?zhí)?專利號(hào)： 95105687 提供一種對銅的浸蝕速度快、浸蝕后銅的表面不易氧化的過硫酸鹽型浸蝕液。該浸蝕液系在含過硫酸鹽的水溶液中添加選自咪唑、咪唑衍生物、吡啶衍生物、三嗪和三嗪衍生物中的至少一種而成。
| 申請日： | 1995年06月28日 |
| 公開日： | 1996年02月28日 |
| 授權(quán)公告日： | 2002年01月30日 |
| 申請人/專利權(quán)人： | 美克株式會(huì)社 |
| 申請人地址： | 日本兵庫縣 |
| 發(fā)明設(shè)計(jì)人： | 中川登志子 |
| 專利代理機(jī)構(gòu)： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所 |
| 代理人： | 林蘊(yùn)和 |
| 專利類型： | 發(fā)明專利 |
| 分類號(hào)： | C23F1/18 |
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