申請?zhí)?專利號： 00110288 一種銅膜的制備方法，其特征在于：以晶粒尺寸小于１００ｎｍ的納米金屬Ｃｕ為原材料，純度高于９９．９９５ｗｔ％，密度為８．９１±０．０３ｇ／ｃｍ↑［３］，在室溫冷軋，變形速率：１×１０↑［－５］～１×１０↑［１］／ｓ。本發(fā)明制備出的銅膜表面質(zhì)量好，可以達到很薄的厚度，并且工藝簡單，使用普通的軋制設備即可實現(xiàn)。
| 申請日： | 2000年04月05日 |
| 公開日： | 2001年10月10日 |
| 授權公告日： | 2003年07月30日 |
| 申請人/專利權人： | 中國科學院金屬研究所 |
| 申請人地址： | 遼寧省沈陽市沈河區(qū)文化路72號 |
| 發(fā)明設計人： | 盧磊;斯曉;陶乃镕;隋曼齡;盧柯 |
| 專利代理機構： | 沈陽科苑專利商標代理有限公司 |
| 代理人： | 張晨 |
| 專利類型： | 發(fā)明專利 |
| 分類號： | B21B1/40;C22F1/08 |
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